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  2022, Vol. 43 Issue (1): 16-27    
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应力诱发界面扩散下夹杂演化的有限元模拟
井亚彬1,1,黄佩珍2
1.
2. 南京航空航天大学航空宇航学院结构强度研究所
FINITE ELEMENT SIMULATION OF THE EVOLUTION PROCESS OF INCLUSIONS DUE TO STRESS-INDUCED INTERFACE DIFFUSION
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摘要 应力作用下内连导线中的夹杂等缺陷会迁移和变形，从而影响电子器件的可靠性。本文基于应力诱发表面扩散机制下的弱解描述，推导了固-固界面在界面扩散机制下的有限单元控制方程，并数值分析了应力诱发界面扩散下金属内连导线中夹杂的形貌演化。研究结果表明：在拉压应力下，夹杂会发生分节或者圆形化；在双向等值拉应力下，夹杂存在着沿长轴生长和圆形化两种分叉趋势。并且存在着临界应力、临界形态比和临界线宽。形态比、应力越小或线宽、模量比越大，夹杂越易演化为圆形。
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井亚彬
黄佩珍
关键词 ： 夹杂演化,  界面扩散,  有限单元法,  应力迁移,  inclusion evolution,  interface diffusion,  finite element method,  stress migration    
收稿日期: 2021-01-22      出版日期: 2022-02-15
基金资助:江苏省自然科学基金;江苏高校优势学科建设工程资助项目
通讯作者: 黄佩珍     E-mail: pzhuang@nuaa.edu.cn
引用本文:   
井亚彬 黄佩珍. 应力诱发界面扩散下夹杂演化的有限元模拟[J]. , 2022, 43(1): 16-27.
链接本文:  
http://manu39.magtech.com.cn/Jwk_gtlxxb/CN/     或     http://manu39.magtech.com.cn/Jwk_gtlxxb/CN/Y2022/V43/I1/16
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